-お知らせ -

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新しいホームページは初秋に公開予定です。

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  常圧プラズマ表面処理装置
AP Plasma
PFC 排ガス処理装置 GREENSTAR
PFC Abatement System GREENSTAR

常圧プラズマがなしえた環境技術 The environmental technology that the atmospheric pressure plasma enabled

プラズマによる表面改質の革命、高周波の影響を徹底追求し完成

Revolution of surface modification by our plasma technology.
We had solved the influence of the AP Plasma technology.

常圧プラズマの発生実験中にトライしてみたプラズマによるレジストの剥離実験が、LCD製造工程に多用される表面改質装置へと繋がった。さらに、フレキシブル基板(FPC)業界への進出を決定する契機にもなった。イー・スクエアのプラズマ表面改質装置は、独自の改良を加え、処理後のダメージをほとんど与えない量産対応機として完成している。

We experimented on the resist ashing processing with the atmospheric pressure plasma, and became the opportunities of the surface reforming equipment development this experiment .In addition, Plasma surface treatment equipment made by the e square Co.,Ltd. have been almost without Electric damage to the object of processing. As a result, it is the best equipment for use in the mass production line.

常圧プラズマ技術

表面改質技術 Serface Treat

大気圧プラズマ装置 ADMASTARシリーズ

  • エッチング Etching
  • 有機物除去 Organic remove
  • 乾燥 Dry
  • クリーニングCleaning
  • レンズ、バイオ Lens,Vaio
    ↓ ↓ ↓ ↓
  • 液晶関連(素ガラス Glass Substrate、TFT、PDP、OELD、C/F、液晶フィルム Film for FDP
  • ウエハー IC Fablocation
  • マスク製造 Masl Fablication
  • 基板乾燥技術 Plazma Dry
  • その他(レンズ Lens、バイオ Vaio

環境技術(P.F.C) Ecology

排ガス処理装置 GREENSTAR

  • ドライエッチングガスの分解(Decompose)及び高分子化技術(Polymerization)

サンプルワーク実施中

当社ではサンプルワークを実施しています。

デモ/評価機

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