株式会社イー・スクエア

PreciseシリーズはLCD関連市場はもとより、IC半導体分野を視野に入れ、ワークへのダメージ（トランジスタ特性Vth,ΔVfb、CV）等を徹底的に排除した設計により実現いたしました。

• 処理中にワーク表面への電位発生、静電気発生がありません。
• 処信頼性の高い誘電体バリアー放電ダウンストリーム型プラズマヘッド。
• 電極に使用するファインセラミックは高純度、高密度なものを厳格な品質チェック後に使用しています。
• プラズマヘッドの自重が重くなる為、長尺に対して、内部への応力や熱ストレス、外部からの応力に対して、プラズマ発生部をフローティング構造にすることにより、３メーター級の基板サイズに対しても、内部で接ぐことなくセラミックの割れに関して、高信頼性を確保いたしました。
• 長期保障と低いランニングコスト。
  プラズマヘッドは3年間の保証。
  2年毎のメンテナンス頻度
  低い窒素ガス消費量であるが高い処理性能を実現（当社従来比30％減）
• 常温プラズマ乾燥（特許取得）
  従来方式であるIRヒーター、ランプヒーター乾燥であれば、余熱時間、消費電力、設置スペースの観点から、本方式の場合、それらを約1/10に低減できまた、残渣の無い乾燥を常温近傍でおこなうのもであり、フィルム等の乾燥に非常に適している。